压力传感器技术水平与国际相比仍有差距

时间：2012-8-31 8:20:18 来源：盛恩传感器

目前国内的传感器技术水平从行业整体来讲，较之国际水平，确实还有一定的差距。以压力传感器而言，我认为国内业界理论水准，跟国际水平并无多大差距，但基础技术，包括材料技术、制造设备、测试技术和可靠性研究等，与国际水平还是有一定差距。
　　从生产设备来讲，所有厚膜工艺设备(包括自动丝网印刷机、膜厚非接触式测试设备、烧结炉、激光修调系统等)都必须从美国、英国、日本等国家进口，金属管浮子流量计，这些都是国际一流设备，国内不具备生产能力。另外，传感器是敏感元件，对生产环境要求极高，生产线必须具备净化厂房。而这一点，国内的生产线亦无法达到要求。以前，我们曾尝试，将自己设计的一体化陶瓷环、高压阻系数电子浆料，配方研制完成后，在国内生产，但生产出的产品性能始终无法达到要求。所以，只能到国外委托加工。以设备来讲，国内生产线加工的传感器存在的最大的问题就是时漂和温漂大。
　　我国压力传感器市场主要是工业自动化控制领域，和汽车领域。据罗百辉介绍，在工控领域里目前我国绝大部份采用扩散硅压力传感器、应变片式压力传感器和溅射薄膜压力传感器，而国内厂家生产面广量大的就是扩散硅压力传感器。在国内，西安市是我国笫二个五年计划里重点发展压力系列传感器的重要城市，陕西宝鸡市在省会城市西安的带动下，由原秦岭晶体管厂进行技术改造，和美国霍尼伟尔公司合作成立麦克传感器公司，为我国扩散硅压力传感器生产开创了先河。但MEMS技术和前道硅片制造技术仍控制在外国厂家手里。
　　进入九十年代,国际上MEMS技术有了长足的发展，硅片定向微机电加工精度和成品率不断提高，加上离子注入技术的发展使扩散硅压力传感器从技术上有了可靠保证，成本也有所下降。在许多应用领域里，扩散硅压力传感器还必须与充油蕊体配套,这又使它的售价大幅度上升。这些原因无疑在一定程度上促进了国内压力传感器市场的兴盛。
　　在国外，压阻式陶瓷压力传感器以其高可靠性，抗腐蚀、优良的线性精度和低成本开始逐渐替代扩散硅压力传感器，这也将是必然的发展趋势。国家科技部马颂德副部长在2005年底视察无锡时，对此作了充分肯定。
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